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广东省中山大学材料学院无掩膜紫外光刻机采购项目招标通知
公告名称:
广东省中山大学材料学院无掩膜紫外光刻机采购项目招标通知
所属地区:
广东省
发布时间:
2025-03-24
详细内容:


| 项目概况














采购类型 采购
项目编号 中大招(货)[2025]023号
项目名称 中山大学材料学院无掩膜紫外光刻机采购项目
申购主题 无掩膜紫外光刻机
项目类型 货物采购

项目预算 ***

最高限价





720,000.00(人民币)









报名及响应开始时间



2025-03-24 16:31





报名及响应结束时间



2025-03-31 09:00

采购单位 中山大学
经办人 王老师 经办人电话 84115092
期望收货时间





合同签订后30天交货



是否送货 送货地址 广东省深圳市光明区公常路66号中山大学深圳校区工学院1栋B110
电子签章

本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载



备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。
| 采购明细








1采购设备 无掩膜紫外光刻机
数量 1台




参考品牌







“无掩膜紫外光刻机”技术要求






























序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明
1

*光刻精度:

至少支持两个光刻镜头:

光刻镜头1:最小线宽1.2 µm,线宽均匀性:工作距离≥19 mm,景深:2um;

光刻镜头2:最小线宽0.8 µm,线宽均匀性:工作距离≥12 mm,景深:1.2um

预留空间样品厚度:≥8 mm





非常重要
2

▲具备交互式套刻指引功能:可实时光刻图形的预览,验收时可软件演示





非常重要
3

▲具备图像识别对焦功能





非常重要
4

可实现光刻镜头电动切换





重要

5

曝光波长:LED 405 nm,光源处的功率≥10W,寿命≥10000h.(





重要

6

数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um





重要

7

显微观测:可实现显微观测且不会引起光刻胶变性





重要

8

▲样品台尺寸:≥130 mm * 130 mm,有效曝光面积≥125 mm*125 mm





非常重要
9

可实现样品旋转





重要

10

样品吸附:真空吸附样品,气体流量:7 L/min,真空度:30 kPa





重要

11

画图软件:可实现阵列画图、套刻画图





重要

12

▲设备软件:

原位光绘功能:可实现原位绘制光刻图形

物像绑定功能:可实现样品图形和光刻图形绑定,实时对应

成像拼接功能:可实现样品图形的大范围拼接,实现大范围样品查找

畸变矫正功能:可实现光刻图形算法畸变矫正,实现精准套刻





非常重要
13

运动台步进精度:50 nm、重复定位精:±100 nm





重要

14

无掩膜紫外光刻机,1台





重要











| 资质要求










序号 要求名称 条件类型 要求内容 是否需要附件说明
1 第1条资质参数 符合性参数





上传营业执照(副本原件扫描件)




2 第2条资质参数 符合性参数





填写并按要求上传“廉洁承诺书”(需签字并盖公章)




3 第3条资质参数 符合性参数





填写并要求上传“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并加盖公章)




4 第4条资质参数 符合性参数





填写并按要求上传“供应商资格声明”(需签字并盖公章)












| 商务要求














序号 要求名称 要求内容 是否需要附件说明
1 免费保修年限





2年


3年


4年


5年及以上




2 合同履约





该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址:http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意: (1)合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用; (2)本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票,如无法开具,需在签署合同时提供合理说明,否则将可能会影响合同签署。




3 产品销售渠道(要求上传“制造厂商出具的授权函”)





厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格式自拟)


厂家(生产商)长期授权销售(授权书中连续有效期不少于一年)


其他授权销售方式




4 保修范围





1、保修期内的保修内容与范围:(1)在保修期内出现属于合同设备原因的故障,卖方负责无偿修理及免费提供备件(除耗材外)。(2)保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏(即:人为错误而导致的损坏),则由买方承担受损零件的全部费用,卖方负责修理。 2、超过保修期后的保修内容与范围:保修期外的涉及到零部件出现故障,厂家需按成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。




5 售后服务要求





1、在保修期内,当设备发生故障、买方不能自行解决时,卖方在接到买方的通知后:(1)在24小时内响应;(2)72小时内到达现场,并尽快予以解决;(3)一般故障7天内解决(重大故障除外)。 2、超过保修期后,如合同设备发生故障,买方要求卖方对设备进行检查、维修时,卖方在接到买方的通知后:(1)在24小时内响应;(2)在72小时内到达现场,并尽快予以解决;(3)期间所发生的费用由买方承担。




6 培训要求





1、卖方负责对仪器进行安装调试,并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员:不少于2人; 3、培训时间:1天; 4、培训内容:仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。













欢迎供应商注册 投标,如有疑问请联系技术支持QQ:1933416688

1.报名须知:
a、请登录wisdombidding.com选择相应项目,点击界面下方“我要报价”按钮。
b、首次访问的用户需注册,经系统审核后,再登录查看可报名项目,按系统报名。
c、报名材料除产品彩页外均需加盖公章,扫描上传。
2、注册审核时间为(工作日8:30 - 17:30),一般为当个工作日。
3、缴费确认时间(工作日8:30 - 17:30):
a、对公转账一般到账时间需要四个小时,缴费确认需要四个小时以上,节假日期间请使用支付。
b、推荐使用支付,支付实时到账系统自动确认收款,可马上报价。
4、资料准备时间为1-2日,报价材料除产品彩页外均需加盖公章,请供应商提前准备。
5、供应商第一次报价可能需要较长时间,请提前报价。





















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