1. 招标条件

本招标项目芯片清洗机招标人为中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所，招标项目资金来自自筹，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对芯片清洗机采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20210316A015。

2.2 招标项目名称：芯片清洗机。

2.3 数量：1台。

2.4 技术参数：

2.4.1 工艺槽

（1）DI槽：（静态超声加热）（TANK1/2）

1）温度控制：RT~65℃±1℃，采用PID& J-Type ，超温热电偶：当温度高于或低于设定值时，超温热电偶激活报警；

2）加热：投入式PFA加热；

3）排放：气动阀控制，重力排入设备本体集液区，泵排入用户厂务回收桶。

（2）QDR槽：（喷淋+溢流+快排S）（TANK3/4/5/6）

1）注水：1路注水，1路室温水注入，底部溢流注水管路，气动阀控制，流量可调，设计有节水模式和工艺淋浴模式，节水模式采用旁路idle小流量注水模式，工艺淋浴模式管路为1/2 PFA管；

2）喷淋：位于槽体上部两侧，气动阀控制（室温水），各有4个高速喷嘴，并可调节角度。设计有节水模式和工艺淋浴模式，节水模式采用旁路idle小流量注水模式，工艺淋浴模式管路为1/2 PFA管。

（3）烧杯冲洗槽：（TANK7）

1）注水：配有水龙头，位于设备内侧，对烧杯进行冲洗；

2）常温纯水管路采用CL-PVC/ PFA材质，化学液管路采用PFA/PVDF材质，氮气/CDA低压报警。

2.4.2 管路系统

常温纯水管路采用CL-PVC/ PFA材质，化学液管路采用PFA/PVDF材质，氮气/CDA低压报警。

2.5 交货地点：中国北京海淀（北京长城计量测试技术研究所）安装现场。

2.6 交货期：合同签订生效后6个月内完成交付验收。

3. 投标人资格要求

3.1 本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。

3.2 本次招标不接受联合体投标。

3.3本次招标不接受代理商投标。

3.4 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4.招标文件的获取

4.1 凡有意参加投标者，请于2021年4月30日至2021年5月11日17时(北京时间)，购买招标文件后登陆航空工业电子采购平台（www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件，现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

4.2 招标文件售价800元，售后不退。费用支付至中科信工程咨询（北京）有限责任公司（开户行：华夏银行北京西客站支行；帐号：10235000000047830）

4.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

5.投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年5月21日09时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（www.eavic.com/rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

5.2 纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）

招标人或其招标代理机构：_______________（盖章）